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用纳微柔性阵列实现接触时间延长的多向振动阈值传感器制造技术
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下载用纳微柔性阵列实现接触时间延长的多向振动阈值传感器的技术资料
文档序号:9666422
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本发明提供了一种用纳微柔性阵列实现接触时间延长的多向振动阈值传感器,其中:质量块电极分别与八组蛇形弹簧一端连接,弹簧另一端与弹簧支撑座相连接并将质量块悬空于垂直下固定电极和悬臂梁上固定电极之间,碳纳米纤维簇阵列结构分别分布在质量块的上表面和...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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