下载激光光管电极的电化学复合沉积制造方法与装置的技术资料

文档序号:9662833

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本发明涉及一种激光光管电极的电化学复合沉积制造方法与装置,通过光束调制系统将实心脉冲激光变成中心光强为零的环形空心激光束,利用环形激光辐照等离子体的扩张膨胀,对非实体光管电极内的电化学沉积产生压缩冲击,去除沉积应力,排出阴极反应气体,提高材...
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