温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种高性能的氧化铌靶材，其由以下质量比原料制成：89~98.8%氧化铌粉体，0.2~1%活化剂碳粉，1~10%还原剂，所述还原剂选自铌粉或钽粉。本发明同时还提供了上述氧化铌靶材的制备方法。本发明具有以下优点：（1）制备方法效率高：...
该专利属于河北东同光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北东同光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。