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本发明涉及一种高导热低膨胀铜钨复合薄膜及制备方法，其由铜靶和钨靶利用双离子束溅射轰击沉积在基片上形成，所用双离子束溅射铜靶的铜含量大于99.9％和钨靶的钨含量大于99.9％；利用双离子束溅射高导热低膨胀铜钨复合薄膜里的铜和钨的含量由溅射离子...
该专利属于吉安市艾生建材科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉安市艾生建材科技有限公司授权不得商用。

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