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本发明涉及在以垂直流式对使用于显示面板、太阳能电池等的玻璃基板进行减薄的工艺中使用的蚀刻装置用刀片结构。由于，现有的一字型刀片存在蚀刻溶液向内侧偏向而产生凝聚的现象，因此，存在蚀刻的均匀度不良，并在玻璃基板上产生斑点的问题，由此，本发明的刀...
该专利属于诺发科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺发科技有限公司授权不得商用。

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