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一种清洁头，该清洁头包括：长的内部管道（150），其将清洁气体从外部经由供气管道（100）供给至气体喷射室（170），使清洁气体从气体喷射口（153a）喷射；下罩（110），其被配置为包围内部管道（150）；上罩（210），其与下罩（110...
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