下载PN结和SE掺杂一次完成的扩散方法的技术资料

文档序号:9643396

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本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种PN结和SE掺杂一次完成的扩散方法。该方法是在被扩散物的扩散面上形成一层含有掺杂物质的涂层,在PN结区域和SE区域形成的涂层分别具有不同的密度或浓度或组分;其中,SE区域涂层密度或浓度高于PN结区域涂层...
该专利属于北京金晟阳光科技有限公司;袁向东;许颖所有,仅供学习研究参考,未经过北京金晟阳光科技有限公司;袁向东;许颖授权不得商用。

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