下载一种硅烷气体纯度简易测定方法的技术资料

文档序号:9641565

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本发明涉及一种硅烷气体纯度简易测定方法,其包括如下工艺步骤:1)选用医用注射器,吸取封闭液并排除医用注射器内气体,吸取待测气体并读取数值X1;2)将吸取后的医用注射器放入氢氧化钠溶液进行反应吸收,待完全反应平衡后,读取此时数值X2;3)两数...
该专利属于李耀文所有,仅供学习研究参考,未经过李耀文授权不得商用。

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