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石英晶体微天平检测装置制造方法及图纸
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文档序号:9641330
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本发明公开了一种石英晶体微天平检测装置,包括中间层、密封垫片、封盖和石英晶片;中间层中心设有中间层凹槽,中间层凹槽底端设有左探头通孔和右探头通口;封盖上设有进样口和出样口;石英晶片位于中间层凹槽内,且在石英晶片底端中心设有一个开口向下的石英...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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