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一种碳基薄膜衰减滤光片的制备方法，涉及一种滤光片。提供一种工艺简单、膜系设计简单、稳定性好的一种碳基薄膜衰减滤光片的制备方法。将基底清洗；以石墨为靶材，使用等离子束溅射法，在基底上进行真空镀膜，得碳基薄膜衰减滤光片。所制备的碳基薄膜滤光片的...
该专利属于厦门大学所有，仅供学习研究参考，未经过厦门大学授权不得商用。

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