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本发明公开了多晶硅生产过程中物料循环利用的方法和系统，该方法包括：（1）使三氯氢硅和氢气进行还原反应，得到多晶硅和还原尾气；（2）对还原尾气进行除尘处理，获得经过除尘的还原尾气；（3）对经过除尘的还原尾气进行压缩冷却处理，从还原尾气分离第一...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。

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