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本发明公开了一种导电橡胶垫的加工装置及工艺，所述加工装置包括激光器，扩束镜，扫描振镜，F-theta镜及样品移动平台、支撑装置；所述激光器产生的激光，首先进入安装于所述激光器输出端用于扩展激光束直径的所述扩束镜，依次经过安装于所述扩束镜输出...
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