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一种高灵敏度的热电子热辐射探测计及其制备方法技术
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文档序号:9617075
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本发明公开了一种电子热辐射探测计及其制备方法。该方法包括如下步骤:(1)在SiO2衬底上进行甩膜得到PMMA层;对PMMA层依次进行电子束曝光和显影得到电极的图形,然后蒸镀电极;(2)去除SiO2衬底上的PMMA层;将氮化硼-无序石墨烯薄膜...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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