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本发明涉及一种MOCVD设备和该设备中的托盘支撑旋转系统。该托盘支撑旋转系统包含托盘及旋转轴，在托盘底面设有向下延伸的凸起，凸起内贯通的空腔与托盘中心区域贯通的开孔相连通；托盘和旋转轴相接触时，托盘底面的凸起至少一部分插入旋转轴顶部设置的凹...
该专利属于中晟光电设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中晟光电设备（上海）有限公司授权不得商用。

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