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基于扫描电镜下微型原位力学测试仪制造技术
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文档序号:9607590
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本实用新型涉及一种基于扫描电镜下微型原位力学测试仪,包括固设在工作台底板上的导轨、分别通过滑块设置在导轨上的第I工作台和第II工作台、在两工作台上分别设置对应的夹具体,通过穿置在该两个工作台两端的两根丝杠及经两级涡轮副驱动连接的直流伺服电机...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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