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本实用新型涉及硅片加工设备技术领域，提供了一种用于硅片生产的热交换器清洁装置，包括循环水罐，该循环水罐的出水口通过循环水进水管与热交换器的物料入口相连通，循环水进水管上设有循环泵，循环水罐的回水口通过循环水回水管与热交换器的物料出口相连通；...
该专利属于宇骏（潍坊）新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宇骏（潍坊）新能源科技有限公司授权不得商用。

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