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一种高通量平面光源产生的装置及方法制造方法及图纸
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下载一种高通量平面光源产生的装置及方法的技术资料
文档序号:9600201
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本发明提供一种高通量平面光源产生的装置及方法,该装置的电极由一圆筒状阳极和一同轴布置的圆形棒状阴极组成,所述阳极圆筒一端封闭,另一端为石英透射窗气封;位于阴极发射端面附近的阳极圆筒壁面开有高温气体流出孔缝;在其两侧阳极圆筒壁面开有冷气体流入...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。
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