温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种纳米印章的制备方法,包括如下步骤:(1)在基片上放置一层金属铬膜;(2)在金色铬膜上旋涂一层光刻胶;(3)用全息曝光法将图案掩膜转移到光刻胶上;(4)显影,然后用去铬液将光刻图案从光刻胶上转移到铬膜上;(5)用等离子体将多余...该专利属于无锡英普林纳米科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡英普林纳米科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种纳米印章的制备方法,包括如下步骤:(1)在基片上放置一层金属铬膜;(2)在金色铬膜上旋涂一层光刻胶;(3)用全息曝光法将图案掩膜转移到光刻胶上;(4)显影,然后用去铬液将光刻图案从光刻胶上转移到铬膜上;(5)用等离子体将多余...