下载多晶硅铸锭的制备方法的技术资料

文档序号:9592759

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本发明揭示了一种多晶硅铸锭的制备方法,该方法包括以下步骤:S1、提供一坩埚,并在坩埚内壁上第一区域内涂覆氮化硅涂层,在坩埚内壁上位于第一区域上方的第二区域内不进行氮化硅涂层的涂覆;S2、在上述坩埚涂有氮化硅涂层的第一区域内放置多晶硅料,然后...
该专利属于阿特斯(中国)投资有限公司;阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过阿特斯(中国)投资有限公司;阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司授权不得商用。

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