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提出一种混合集成部件的部件的功能范围的扩展，所述混合集成的部件具有一个MEMS元件(20)、一个用于所述MEMS元件(20)的所述微机械结构(23)的罩(30)和一个具有电路元件(11)的ASIC元件(10)。在所述部件(100)中，所述A...
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