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本发明涉及一种以抛代洗的蓝宝石衬底材料表面洁净方法，先通入氧化液清洗有机物，再通入活性剂加螯合剂的混合清洗液去除颗粒及金属离子，最后通入去离子水进行清洗。本发明所提供的清洗方法清洗液中不含强酸与强碱成分，环保，无污染，对技术操作人员也无危害...
该专利属于曾锡强所有，仅供学习研究参考，未经过曾锡强授权不得商用。

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