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本发明公开了一种自动分级筛选纳米制造系统，所述等离子体反应釜上部设有冷凝主管管道，冷凝主管管道亦为斜向设置，冷凝主管管道处设有至少两个粉末收集器，所述粉末收集器上部的冷凝主管管道处设有过滤装置。其采用斜向设置的冷凝主管管道，并在冷凝主管管道...
该专利属于益固（上海）真空设备科技有限公司;康进昌所有，仅供学习研究参考，未经过益固（上海）真空设备科技有限公司;康进昌授权不得商用。

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