下载实现多晶硅铸锭无黑边的坩埚的技术资料

文档序号:9578659

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本实用新型属于多晶硅铸锭技术领域,具体涉及一种实现多晶硅铸锭无黑边的坩埚,包括氮化硅坩埚,其特征在于氮化硅坩埚内壁依次喷涂有氮化硅涂层和硅粉涂层,制备时将氮化硅涂层和硅粉涂层依次用喷枪喷涂到氮化硅坩埚的内壁上。本实用新型的优点在于:(1)获...
该专利属于青岛隆盛晶硅科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛隆盛晶硅科技有限公司授权不得商用。

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