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一种连续卷绕镀膜机制造技术
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下载一种连续卷绕镀膜机的技术资料
文档序号:9578627
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本实用新型提供了一种连续卷绕镀膜机,包括真空室,真空室连接有抽真空系统,真空室内设有靶极和卷绕系统,其特征在于:真空室连接有超低温系统,所述抽真空系统、靶极和卷绕系统均电连接有PLC控制系统,所述PLC控制系统电连接有中频电源和直流电源。本...
该专利属于潍坊怡通电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过潍坊怡通电子有限公司授权不得商用。
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