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本实用新型公开一种气动隔膜泵进风口过滤装置，包括圆柱形过滤装置壳体、顶盖，所述圆柱形过滤装置壳体的侧壁上设有进风口、排污口，圆柱形过滤装置壳体的底板中部向下凹，进风口设在侧壁中部，侧壁内侧设有磁铁，磁铁中部对应进风口，排污口设在底部，排污口...
该专利属于江阴江化微电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江阴江化微电子材料股份有限公司授权不得商用。

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