温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种部件检查装置，其通过对纵向边缘和横向边缘的焦点位置偏移进行校正，从而提高部件检查的精度。部件检查装置具有：同轴照明系统，其使用光透过性镜板，向对象物照射光；以及成像透镜，其使从同轴照明系统照射并由对象物反射后的光，在拍摄元件上...
该专利属于JUKI株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过JUKI株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。