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部件检查装置制造方法及图纸
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下载部件检查装置的技术资料
文档序号:9572453
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本发明提供一种部件检查装置,其通过对纵向边缘和横向边缘的焦点位置偏移进行校正,从而提高部件检查的精度。部件检查装置具有:同轴照明系统,其使用光透过性镜板,向对象物照射光;以及成像透镜,其使从同轴照明系统照射并由对象物反射后的光,在拍摄元件上...
该专利属于JUKI株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过JUKI株式会社授权不得商用。
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