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振动器件、电子设备制造技术
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文档序号:9571148
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振动器件、电子设备。本发明提供没有可动电极的非线形动作、也不会使振动器件的大小增加并能够进行频率调整的振动器件。振动器件具备:振子(3),其具有能相对于基板移位的梁(39)、从上述梁延伸的梳齿状的可动电极(41、42)和固定在上述基板(60...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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