下载基于高能离子注入方式的通道分压场效应管及生产方法的技术资料

文档序号:9570068

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本发明公开一种基于高能离子注入方式的通道分压场效应管及生产方法,利用高能离子注入设备进行渐深注入,再通过扩散制作一N型通道连接沟道与漏极,N型通道所形成的类T形结构也是3D结构,PN之间形成空乏区从单一的垂直方向改变为垂直与水平两个方向,这...
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