下载一种外调制光纤干涉条纹投射实时三维形貌测量系统的技术资料

文档序号:9567335

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本发明公开了一种外调制光纤干涉条纹投射实时三维形貌测量系统,本发明基于光纤干涉条纹投射、大调制度正弦相位调制、同步积分的高精度相位轮廓测量,同时利用光纤端面菲涅尔反射干涉信号进行处理求解出干扰信号并反馈到压电陶瓷控制回路中,提高测量精度。结...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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