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本发明公开了一种高硬度、高弹性模量TiSiN保护涂层的制备方法，包括如下制备步骤：（1）基体清洗，然后进行离子清洗；（2）TiSiN层制备：将步骤（1）处理后的基体送到溅射室进行沉积，Ti-Si复合靶材由射频阴极控制，沉积1-2μm的TiS...
该专利属于萨姆森涂层纳米科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过萨姆森涂层纳米科技（上海）有限公司授权不得商用。

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