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基于游标效应的双微环谐振腔光学生化传感芯片制造技术
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下载基于游标效应的双微环谐振腔光学生化传感芯片的技术资料
文档序号:9556063
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本实用新型的基于游标效应的双微环谐振腔光学生化传感芯片,包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的SOI基体,SOI基体的单晶硅层包含光学耦合连接的两个微环谐振腔。所述的微环谐振腔在空间结构上为层叠状。由于在方案中引入狭缝...
该专利属于成都谱视科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都谱视科技有限公司授权不得商用。
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