下载一种带绝热护板的高效多晶硅锭铸锭炉的技术资料

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本实用新型公开了一种带绝热护板的高效多晶硅锭铸锭炉,包括炉体、设置在炉体内的隔热笼体、设置在隔热笼体内的石英坩埚,其特征在于:石英坩埚底面贴附有底板,石英坩埚四周面贴附有护板,护板靠近底板一端通过绝热材料板与底板连接。本实用新型技术方案带来...
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