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本实用新型提出了清洗设备，该清洗设备包括：转动轴、喷淋装置、毛刷、驱动器以及用于盛放清洗溶液的溶液容器。其中，喷淋装置设在转动轴上且与溶液容器连通；毛刷设在转动轴上；驱动器与转动轴相连以驱动转动轴旋转。利用该清洗设备可以有效地对多晶硅氢化炉...
该专利属于昆明冶研新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆明冶研新材料股份有限公司授权不得商用。

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