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用于求取激光射束在其工作区域或工作空间中的焦点位置的方法技术
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下载用于求取激光射束在其工作区域或工作空间中的焦点位置的方法的技术资料
文档序号:9547135
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本发明涉及一种用于在激光射束(2)的二维工作区域(7)中或三维工作空间中的多个测量点处求取借助扫描器光学系统(5)或x-y运动单元(5')能够在x-y方向上偏转并且借助聚焦光学系统(4)或z运动单元(6)能够在z方向上行进的激光射束(2)的...
该专利属于通快激光两合公司所有,仅供学习研究参考,未经过通快激光两合公司授权不得商用。
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