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悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基板的研磨方法及基板技术
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文档序号:9545887
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本实施方式涉及的研磨液含有磨粒、添加剂和水,磨粒满足下述条件(a)或(b)中的至少任意一个。(a)在磨粒的含量被调节至1.0质量%的水分散液中,使该水分散液对于波长400nm的光的吸光度在1.50以上的同时,在磨粒的含量被调节至1.0质量%...
该专利属于日立化成株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立化成株式会社授权不得商用。
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