下载一种提高材料晶体质量的外延生长方法的技术资料

文档序号:9543374

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本发明提出了一种改进的外延生长方法和结构设计理念,能够大幅度稳定提高外延材料晶体质量和提升发光材料和器件的效率。该外延生长方法的特别之处在于,其前期生长过程先进行两次短暂生长,主要包括以下环节:(1)在反应室内,在400度至900度升温过程...
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