下载光刻胶内袋的技术资料

文档序号:9541694

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本发明提出一种光刻胶内袋,包括袋体、开口部和汲取管,其中,所述袋体用于盛放光刻胶,并包括上部和下部,所述开口部开设于所述上部的顶端,并具有光刻胶出口,所述下部呈锥形渐缩,所述汲取管连通于所述光刻胶出口并伸入所述袋体,并延伸至所述下部的底端。...
该专利属于上海和辉光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海和辉光电有限公司授权不得商用。

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