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本实用新型公开了一种太阳能电池片生产过程中使用的硅烷废气燃烧塔，包括多级燃烧筒、废气吸收塔和排风机，所述多级燃烧筒、废气吸收塔和排风机依次连接，各级燃烧筒之间相互串联且连接有互通管道，各级燃烧筒内通入压缩空气与氮气混合气体且燃烧筒内保持负压...
该专利属于晶澳太阳能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶澳太阳能有限公司授权不得商用。

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