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本发明涉及一种新型的重氮萘醌磺酸酯衍生物，此重氮萘醌磺酸酯衍生物含可酸分解保护基，可与酚醛树脂等组成近紫外区的新型感光成像材料，兼具重氮萘醌磺酸酯感光剂体系反差大、显影宽容度好以及化学增幅体系感度高等优点，可用作超大规模集成电路用光刻胶及印...
该专利属于顾勇所有，仅供学习研究参考，未经过顾勇授权不得商用。

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