下载一种相变存储器用高效环保抛光液的技术资料

文档序号:9512886

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本发明公开了一种相变存储器用高效环保抛光液,其特征在于,包括下列重量份数的物质:硫氰酸盐15-35份,碳酸钙7-10份,三乙胺4-13份,酒石酸5-10份,苯甲酸甲酯8-14份,乙二醇丁醚9-15份,马来酸酐8-15份,硼酸锌4-13份,聚...
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