下载光刻机运动台反力抵消装置及应用其的光刻机的技术资料

文档序号:9489414

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本发明公开了一种光刻机运动台反力抵消装置及应用其的光刻机。光刻机运动台反力抵消装置包括反力框架、配重块、阻尼元件以及弹性元件。配重块设置于光刻机运动台电机定子的一端。阻尼元件一端连接于电机定子的一端,另一端连接于反力框架。弹性元件设置于电机...
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