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本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、金属层和氮化硅层，牺牲层的中部和金属层的中部均为空心，氮化硅层的中部为弯曲板，弯曲板的一侧设有向外延伸的凸板，金属层的顶面设有锚区，凸...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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