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本发明公开了一种双扭摆式微机电磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、金属层和氮化硅层，氮化硅层的顶面设有锚区，锚区一边设有第二焊盘、第四焊盘和两个第五焊盘，锚区另一边设有第一焊盘、第三焊盘、第十焊盘和两个第六焊盘；氮...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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