下载用于流体环境检测的谐振传感器的技术资料

文档序号:9488862

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用于流体环境检测的谐振传感器,其中,压电声波谐振器谐振传感器包括:多层结构,多层结构包括以下结构中的至少之一:上电极、压电层和下电极;其中,多层结构中所有结构彼此重叠的区域为有效区域;至少一流道,对于每条流道,该流道的至少部...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。