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用于流体环境检测的谐振传感器制造技术
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下载用于流体环境检测的谐振传感器的技术资料
文档序号:9488862
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本发明公开了一种用于流体环境检测的谐振传感器,其中,压电声波谐振器谐振传感器包括:多层结构,多层结构包括以下结构中的至少之一:上电极、压电层和下电极;其中,多层结构中所有结构彼此重叠的区域为有效区域;至少一流道,对于每条流道,该流道的至少部...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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