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本发明属于半导体与薄膜材料技术领域，具体涉及一种真空环境下基于溶液的无机梯度薄膜的制备方法。本方法在真空环境下将前驱液雾化后喷到加热衬底上，在喷雾过程中逐渐改变前驱液中某一成分的浓度，或是在同时利用多种前驱液时，改变其中一种或几种前驱液在总...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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