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本发明公开了一种多晶硅干法尾气分离回收的方法及装置，特点是首先从解析塔中下部侧线采出循环氯硅烷送去产品贮罐；再从解析塔塔底分离出较纯的贫液-高温吸收塔淋洗液，通过换热器设备，与吸收塔塔底吸收后低温的富液进行热量交换。所述的装置包括吸收塔、解...
该专利属于新特能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新特能源股份有限公司授权不得商用。

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