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具有间隙控制几何形状的声换能器以及声换能器制造方法技术
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下载具有间隙控制几何形状的声换能器以及声换能器制造方法的技术资料
文档序号:9468044
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优选实施方案的换能器包括换能器和多个相邻的锥形悬臂梁。每个梁界定了梁基部、梁尖部以及设置在梁基部和梁尖部之间的梁主体。梁被布置成使得每个梁尖部朝向共同区域延伸。每个梁沿着梁基部接合至衬底并且沿着梁主体与衬底分离。制造换能器的优选方法可包括:...
该专利属于巴克-卡琳公司所有,仅供学习研究参考,未经过巴克-卡琳公司授权不得商用。
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