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本发明提供用于像素通路的系统、方法及设备。在一个方面中，一种形成具有多个像素的机电装置的方法包含：在衬底(20)上四个隅角中的每一者处且沿着每一像素的至少一个边缘区域沉积导电黑色掩模(23)；在所述黑色掩模上方沉积电介质层(35)；在所述电...
该专利属于高通MEMS科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过高通MEMS科技公司授权不得商用。

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