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膜厚测定装置和膜厚测定方法制造方法及图纸
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文档序号:9467299
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本发明的膜厚测定装置具有分光传感器(113)和数据处理部(120),其中,所述分光传感器测定在基材上涂布的膜的分光数据,所述数据处理部根据所测定的分光数据求出测定颜色特性变量,将该测定颜色特性变量与针对膜的厚度和折射率的多个组的值求出的多个...
该专利属于株式会社尼利可所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼利可授权不得商用。
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