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本发明公开了一种等离子体发生装置，包括电源、反应腔，反应腔包括框架，框架具有下水平板、中间水平板和上水平板，上水平板与中间水平板之间设置有高压腔，中间水平板与下水平板之间设置有气体腔，下水平板上阵列设置有多个通孔，中间水平板上固定连接有钨针...
该专利属于大连民族学院所有，仅供学习研究参考，未经过大连民族学院授权不得商用。

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